Россия создала литограф для чипов

Зеленоградский нанотехнологический центр разработал установку электронно-лучевой литографии с техпроцессом 150 нм. Устройство позволяет напрямую «рисовать» микросхемы без использования фотошаблонов, что важно для создания прототипов чипов и мелкосерийного производства. В настоящее время два опытных образца проходят испытания.